<dfn id="tblud"><i id="tblud"></i></dfn>

    <u id="tblud"><meter id="tblud"></meter></u>
    <s id="tblud"><noscript id="tblud"><i id="tblud"></i></noscript></s>

    產品列表PRODUCTS LIST

    首頁 > 技術與支持 > 等離子增強化學氣相沉積爐主要包含以下三個基本過程
    等離子增強化學氣相沉積爐主要包含以下三個基本過程
    點擊次數:828 發布時間:2020-11-05
      等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD)技術是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。由于PECVD技術是通過應氣體放電來制備薄膜的,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。一般說來,采用PECVD技術制備薄膜材料時,薄膜的生長主要包含以下三個基本過程:
      首先,在非平衡等離子體中,電子與反應氣體發生初級反應,使得反應氣體發生分解,形成離子和活性基團的混合物;
      其二,各種活性基團向薄膜生長表面和管壁擴散輸運,同時發生各反應物之間的次級反應;
      后,到達生長表面的各種初級反應和次級反應產物被吸附并與表面發生反應,同時伴隨有氣相分子物的再放出。

      具體說來,基于放電方法的PECVD技術,能夠使得反應氣體在外界電磁場的激勵下實現電離形成等離子體。在放電的等離子體中,電子經外電場加速后,其動能通??蛇_10eV左右,甚至更高,足以破壞反應氣體分子的化學鍵,因此,通過高能電子和反應氣體分子的非彈性碰撞,就會使氣體分子電離(離化)或者使其分解,產生中性原子和分子生成物。正離子受到離子層加速電場的加速與上電極碰撞,放置襯底的下電極附近也存在有一較小的離子層電場,所以襯底也受到某種程度的離子轟擊。因而分解產生的中性物依擴散到達管壁和襯底。這些粒子和基團(這里把化學上是活性的中性原子和分子物都稱之為基團)在漂移和擴散的過程中,由于平均自由程很短,所以都會發生離子-分子反應和基團-分子反應等過程。到達襯底并被吸附的化學活性物(主要是基團)的化學性質都很活潑,由它們之間的相互反應從而形成薄膜。
    聯系人
    在線客服
    用心服務 成就你我
    国产精品v欧美精品v日韩精品欧美日韩欧美日韩在线视频亚洲欧美日韩精品久久国产亚洲欧美日韩在线一区欧美日韩免费观看在线影片亚洲欧美日韩在线一区日韩欧美亚洲综合久久国产日韩欧美亚欧在线欧美日韩亚洲国产精品欧美日韩亚洲在线国产亚洲欧美日韩一区国产日韩欧美无限制视频欧美日韩亚洲第一区在线米奇777超碰欧美日韩亚洲日韩av欧美av国产av综合天堂国产亚洲日韩网曝欧美台湾黑人欧美日韩专区在线亚洲色国产欧美日韩亚洲欧美日韩中文久久,国产精品v日韩精品v欧美精品日韩欧美亚洲欧美中文日韩在线v日本亚洲欧美日韩一区二区日韩欧美一中文字暮专区亚洲欧美中文日韩v在线观看亚洲欧美偷国产日韩亚洲欧美日韩精品专区国产一区日韩二区欧美三区欧美日韩视频二区在线亚州欧美中文日韩在线视频日韩欧美中文字幕直播视频欧美日韩一本线在线高清亚洲欧美日韩香蕉在线天堂av亚洲欧美日韩国产综合国产亚洲日韩网曝欧美精品久久国产欧美日韩精品国产综合人妻在线欧美日韩亚洲欧美日韩精品自拍亚洲欧美av中文日韩二区,欧美精品v国产精品v日韩精品欧美日韩免费一区二区三区播放亚洲欧美日韩中文无线码亚洲一日韩欧美中文字幕在线欧美日韩国产在线人成欧美日韩视频高清一区亚洲欧美中文日韩视频国产日韩欧美不卡在线二区亚洲欧美日韩综合影院日韩欧美~中文字幕综合亚洲欧美日韩成人在线国产欧美日韩在线在线播放国产日韩欧美手机在线播放日韩欧美巨乳国产欧美日韩中文国产一区亚洲日韩精品欧美一区二区亚洲日本欧美日韩高观看欧美日韩888在线观看亚洲欧美日韩综合av欧美日韩av不卡在线观看,国产精品v欧美精品v日韩精品中文字幕日韩欧美一区二区三区国产欧美日韩中文久久欧美日韩视费观看视频亚洲欧美中文日韩v在线日韩欧美亚洲每日更新在线亚洲中文欧美日韩在线不卡亚洲欧美中文日韩在线视频2110亚洲欧美国产日韩欧美日韩精品一区二区在线国产日韩欧美高清免费视频日韩欧美中文字幕日韩欧美毛片免费观看日韩欧美一中文字暮欧美日韩av日韩欧美tⅴ一中文字暮亚洲欧美中文日韩aⅴ国产在线欧美日韩精品一区亚洲精品欧美精品日韩精品最新亚洲av日韩av欧美av,国产精品v日韩精品v欧美精品中文亚洲欧美日韩无线码国产日韩精品欧美一区喷水久久精品国产欧美日韩日韩欧美国产精品亚洲二区亚洲日韩欧美综合欧美v亚洲v日韩v最新在线日韩欧美中文字幕在线亚洲欧美日韩一区欧美日韩亚洲国产一区二区欧美日韩国产在线一区二区欧美日韩亚洲中字二区日韩欧美中文字幕在线二视频日韩亚洲欧美在线视频网站亚洲日韩精品欧美一区二区一亚洲日韩欧美国产春色欧美日韩av无码欧美日本日韩aⅴ在线视频欧美日韩视频在线第一区av啪啪欧美啪啪日韩啪啪