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    氣相沉積爐在技術上有什么特點?安裝要注意什么?
    點擊次數:276 發布時間:2022-07-20
      氣相沉積爐是時代發展進步的產物,它是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態沉積物的技術。簡單來說就是:兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然后他們相互之間發生化學反應,形成一種新的材料,沉積到基片表面上。CVD和PVD相比,沉積過程要發生化學反應,是一個氣象化學生長的過程。

      目前,本設備是由沉積室、供氣系統和排氣系統組成,是以電阻加熱或者感應加熱的方式,在真空環境下,通入沉積氣體,并在高溫下產生裂解后沉積到工件上,使復合材料得到致密化處理的生產設備。

     

      技術特點:
      1.氣相沉積爐可以控制涂層的密度和涂層純度。
      2.氣相沉積爐可以通過各種反應形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。
      3.在中溫或高溫下,通過氣態的初始化合物之間的氣相化學反應而形成固體物質沉積在基體上。
      4.采用等離子和激光輔助技術可以顯著地促進化學反應,使沉積可在較低的溫度下進行。
      5.涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而變化,從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。
      6.沉積層通常具有柱狀晶體結構,不耐彎曲,但可通過各種技術對化學反應進行氣相擾動,以改善其結構。
      7.繞鍍件好??稍趶碗s形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂覆各種復雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好,所以可涂覆帶有槽、溝、孔,甚至是盲孔的工件。

      氣相沉積爐的安裝說明:
      1.安裝時:沒什么特殊要求,在室內地面或臺架上,電爐控制器應放在工作臺上,臺面傾斜度不得超過5度,控制器離實驗室電爐小距離不得少于0.5米,為了保證控制器的正常運轉,控制器不宜放在電爐上面。
      2.接線時,首先轉松控制器外殼左右兩側的螺釘,然后將罩殼上翻,接好電源線后,控制器與電爐的連線及熱電偶連接線,將熱電偶從熱電偶固定座的小孔中插入爐膛,孔與熱電之間間隙用石棉繩堵塞,然后固定。
      3.檢查完接線后,即可通電,然后打開回轉爐控制器面板上的開關,調節設定按鈕,把溫度設定到您所需要的度數上,如果把設定開關拔向測量位置上,紅燈滅,亦有接觸器的吸合聲響,電爐通電,電流表指示加熱電流值,溫度隨爐內溫度升高而徐徐上升,說明工作正常。
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